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8英寸MEMS晶圆生产线之扫描电镜国际招标公告(1)

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****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-04-19在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称：扫描电镜设备数量：1台设备用途：扫描电镜需为全新专用设备，主要用于对微结构形貌和材料进行测量表征，对晶圆工艺监控、器件失效分析以及逆向产品开发中属于关键核心设备。扫描电镜可以对光刻胶的截面形貌和几何尺寸进行测量，对体硅结构的表征分析及刻蚀缺陷进行测量，对表面的工艺残留物及不明来源的异物进行形貌观察和成分表征。扫描电镜对关键结构的剖面尺寸及工艺缺陷进行测量和监控，对工艺要求提供准确的监控分析。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2440SUMECF18/03招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之扫描电镜项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1 扫描电镜 1 配备主动式减震台，在20万倍以上放大倍率成像时，图像显示无明显可观察到的震动波纹。其他参数详见第八章无3、投标人资格要求投标人应具...

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