中国仪器进XXXXX公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-05-11在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称:离子束刻蚀机设备数量:1台设备用途:主要用于8英寸MEMS工艺中的金属膜层(Au、Ti)的刻蚀加工。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:XXXXX023招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之离子束刻蚀机(重新招标)项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 离子束刻蚀机 1套 *刻蚀工艺腔要求腔室内部安装有易拆卸替换的专用内衬板、栅网、观察窗、石英放电腔等,可实现设备真空腔室的快速清理和维护,要求设备配备两套内衬板,两套栅网,两套石英放电腔、两套观察窗、两套中和器,一套在用,一套备用;工艺腔室为模块化平台构造,包含气体气路、腔室本体、ESC下电极、电源分配模块接口、传送腔体接口等;对于刻蚀窗口暴露面积超过10%的晶圆,具备终点检测抓取能力。对于厚度300μm~1100μm的8英...
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