甬江实验室采购ICPCVD(电感耦合等离子体化学气相沉积)设备项目国际招标公告(1)
项目详情
****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-04-19在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购ICPCVD（电感耦合等离子体化学气相沉积）设备1套。资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。2、招标内容招标项目编号:0762-2441CBNB2011招标项目名称:甬江实验室采购ICPCVD(电感耦合等离子体化学气相沉积)设备项目项目实施地点:中国浙江省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 ICPCVD（电感耦合等离子体化学气相沉积）设备 1套 ICPCVD（电感耦合等离子体化学气相沉积）是利用ICP等离子源，增加等离子浓度，以实现在较低的温度沉积****致密性介质薄膜，如SiO2, SiNx等，用于微纳器件的钝化、介电、填充等功能。主要用于低温沉积****致密性介质薄膜材料如SiO2，SiNx等用于微纳器件，微纳光学器件，功率器件的钝化层、介电层等。3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:...
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