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上海交通大学等离子增强型化学气相沉积成膜仪国际招标公告(2)

发布日期: 2024-07-05

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项目详情

****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-07-05在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:上海交通大学等离子增强型化学气相沉积成膜仪国际招标资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件2、招标内容招标项目编号:XXXXX094招标项目名称:上海交通大学等离子增强型化学气相沉积成膜仪项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 等离子增强型化学气相沉积成膜仪 1套 1)SiO2的沉积速率:≥40 nm/min;SiO2沉积的片间厚度重复性:≤±3%;SiO2沉积的折射率片内均匀性:≤±0.01。2) SiO2沉积的片内厚度均匀性(去边5mm):8英寸范围≤±4%;6英寸范围≤±3%;4英寸范围≤±2%。3) SiNx的沉积速率:≥10 nm/min;SiNx 沉积的片内厚度均匀性(去边5mm):8英寸范围≤±4%;6英寸范围≤±3%;4英寸范围≤±2%,SiNx沉积的片间厚度重复性:≤±3%;SiNx沉...

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