上海交通大学薄膜等离子快速消除机国际招标公告(2)
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****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-06-27在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:上海交通大学拟采购薄膜等离子快速消除机资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金来源已落实项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件2、招标内容招标项目编号:1639-244122240299招标项目名称:上海交通大学薄膜等离子快速消除机项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 薄膜等离子快速消除机 1 晶圆承载台下电极尺寸不小于240mm，带背氦冷却；温控范围超低温-150°C~400°C****温段兼容，并配置ACU(自动温控切换单元），电极适用于300W RF Bias功率3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1)投标人在中华人民共和国境内外注册且具有独立的法人资格，能提供上述产品及相应服务的代理商或生产厂家；2)必须提供所投产品的生产商针对本次招标项目出具的独家授权书；3)具有招标文件中所需设备的供货和售后服务的能力；4）参加本次招标活动前3年内，投...
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